Первый российский серийный литограф нашёл покупателя: машину за ₽392 млн передадут «Ростеху» до конца 2026 года
Россия делает ещё один шаг к независимой микроэлектронике: Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ) готовит к передаче первый серийный литограф с разрешением 350 нм, и его получатель уже известен — им станет производитель МЭМС-компонентов «Маппер», входящий в госкорпорацию «Ростех».

Поставка запланирована на декабрь 2026 года. Это важно, потому что литографы — ключевое оборудование для выпуска чипов, а до недавнего времени Россия полностью зависела от импорта таких машин.
Почему появление литографа — событие уровня страны
Литограф переносит изображение фотошаблона на полупроводниковую пластину — без него невозможно изготовить ни одну микросхему. До последнего времени рынок этих станков почти целиком контролировали нидерландские и японские компании, поэтому собственный серийный образец воспринимается как один из главных маркеров технологического суверенитета.
Первая машина ЗНТЦ рассчитана на топологические нормы 350 нм — это не передовые чипы для смартфонов, а востребованный класс решений для силовой электроники, автоэлектроники и промышленных систем автоматизации. Именно эти сегменты сегодня закрывают импортозамещение в «зрелых» и надёжных технологиях.
Что известно об оборудовании?
Аппарат разработан совместно с белорусской компанией «Планар» и отличается рядом технических решений:
рабочее поле 22×22 мм и поддержка пластин диаметром до 200 мм;
вместо традиционной ртутной лампы — твёрдотельный лазер, который даёт больше мощности и энергоэффективности;
производительность до 63 пластин (150 мм) или 43 пластин (200 мм) в час;
срок изготовления и поставки — 18 месяцев с момента внесения 50% аванса.
Цена базовой версии — 392 млн рублей без НДС. С расширенным сервисным обслуживанием и пятилетней дополнительной гарантией стоимость вырастает до 561 млн рублей. Для сравнения: зарубежные аналоги стоят на 40–60% дороже.
Кто получит первую машину?
Первым заказчиком станет «Маппер» — контрактная МЭМС-фабрика в Технополисе «Москва». Компания была основана в 2012 году как «дочка» нидерландского холдинга Mapper Lithography, а с апреля 2022 года принадлежит АО «ОКБ „Астрон"» (холдинг «Швабе» госкорпорации «Ростех»). Её мощность — до 5 тысяч пластин в год, на площадке занято около 70 специалистов.
Второй серийный литограф по планам уйдёт в компанию «Отраслевые решения», входящую в группу «Элемент». Об этой поставке было известно ещё в сентябре 2025 года.
Дальше — тоньше
ЗНТЦ уже работает над следующим поколением оборудования с разрешением 130 нм. Опытный образец такой установки, тоже разработанный вместе с «Планаром», был анонсирован в августе 2026 года. Бюджет опытно-конструкторских работ — 5,7 млрд рублей, а серийные поставки ожидаются с 2027 года.
Значение для читателя
Для обычного пользователя литограф — вещь незаметная, но именно такие машины определяют, появятся ли в магазинах отечественные контроллеры, электроника для машин и промышленного оборудования, а в перспективе — и более сложные чипы. Каждая новая поставка снижает зависимость отрасли от зарубежных станков, а значит, приближает момент, когда российские гаджеты и техника будут собираться на российских же «микросхемах».
Вывод
Первый серийный литограф с конкретным покупателем и ценой — это уже не лабораторный прототип, а работающий коммерческий продукт. Следующий рубеж — освоение норм 130 нм, и если график выдержат, у российской микроэлектроники появится собственная линейка оборудования под ключ.
Источники
Полезное
Читайте также




